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コヒレント社 ファイバーレーザ技術採用 産業用ピコ秒レーザをリリース

[ 2008/04/23 ]
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Talisker(タリスカー)
コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ:NASDAQ上場)は、2008年4月22日世界初、ファイバーレーザ技術を採用した次世代産業用高出力ピコ秒レーザTalisker(タリスカー)をリリースした(写真)。

Taliskerは、基本波(1064 nm)発振において、平均出力18Wを繰返周波数200 kHz、パルス幅<15 psで実現し、SHG(532 nm)、THG(355 nm)モデルもラインナップしている。また、金属、ポリマー、ガラス、半導体等、幅広い加工材料に高スループットで、熱影響(HAZ:Heat Affected Zone)を最小限に抑えた精密マイクロマシンプロセスが可能である。

さらにTaliskerは装置への搭載がし易く、ユーザーフレンドリーな設計を採用している。例えば、内部WEBサーバーを用いて、リモート診断により、簡易にメンテナンス時期の判断ができるので、ダウンタイムを最小限に抑えた運用ができる。またレーザヘッドは、搭載しやすいコンパクト設計(77 x 39 x 17 cm)となっている。

従来のファイバーレーザでは、レーザ本体がダメージを受けないレベルのピークパワーに制限せざるを得なかった。一方、Taliskerは、ファイバーレーザとフリースペースレーザを組み合わせた独特な設計のモードロックレーザで、産業レベルの信頼性を達成するファイバーレーザをオシレータ部に採用し、アンプ段との組み合わせで10メガワット以上のピークパワーを実現する。

Taliskerは、マイクロエレクトロニクス、バイオメディカル、半導体、ソーラー産業等、多種多様な微細加工応用向けに開発された。特にシリコンや金属の孔明け、フレキシブル基板/ディスプレイの直接描画、フラットパネルディスプレイ/ソーラーセルのスクライビング、マイクロミリング(微小の溝削り)、 ウエハダイシング、金属表面処理等の用途に適している。



コヒレント・ジャパンホームページ

http://www.coherent.co.jp